| 儀器名稱： | 金相拋磨機 |
| 儀器編號： | 04009981 |
| 產地： | 丹麥 |
| 生產廠家： | Struers公司 |
| 型號： | TegraPol-15 |
| 出廠日期： | 200407 |
| 購置日期： | 200410 |
| 所屬單位： | 集成電路學院>微納加工平臺>封裝工藝 |
| 放置地點： | 微電子所平房 |
| 固定電話： | |
| 固定手機： | |
| 固定email： | |
| 聯系人： | 馬海艷（010-66668888,15911104624,mahaiyan@tsinghua.edu.cn） 胡楊（010-62798268,13810173486,hyang@tsinghua.edu.cn） 王謙（010-62794957,13810134838,wang-qian@tsinghua.edu.cn） 竇維治（010-62781090,13366273985,douwz@tsinghua.edu.cn） |
| 分類標簽： | 封裝 金相拋磨 測試 |
| 技術指標： | 該設備使用不同顆粒大小的砂紙對觀測樣品進行打磨，打磨到觀測界面時用拋光布進行表面拋光，樣品表面粗糙度可達幾十納米。 |
| 知名用戶： | 清華大學、北京大學等 |
| 技術團隊： | 封裝專區擁有相關先進儀器設備20余臺套，多為進口設備，按功能主要分為：加工、測量/觀察、環境可靠性測試及失效分析。部分設備面對校內外開放，可承擔學校、科研單位和國內外企業的加工、測試及分析等技術服務與咨詢。 |
| 功能特色： | 樣品放于模具中通過環氧樹脂固化完成制樣，拋光樣品截面，可供分析。樣品種類：常見普通件、陶瓷件、金屬件、硅片等 |
樣品要求：
樣品種類：常見普通件、陶瓷件、金屬件、硅片等
預約說明：
封裝工藝所有的設備均需要提前預約，預約前請聯系設備管理員，討論樣品信息和預約時間，再在網上進行預約。
| 項目名稱 | 計價單位 | 費用類別 | 價格 | 備注 |
|---|---|---|---|---|
| 普通樣品 自主上機機時費 | 元/小時 | 自主上機機時費 | 700.0 | |
| 陶瓷樣品 自主上機機時費 | 元/小時 | 自主上機機時費 | 1200.0 | |
| 普通樣品 送樣測試費 | 元/個 | 測試費 | 700.0 | |
| 陶瓷樣品 送樣測試費 | 元/個 | 測試費 | 1200.0 |