激光小孔法X射線應力分析儀是用于殘余應力測量的高級鉆孔系統。 棱鏡利用電子散斑圖干涉法（ESPI）來確定表面位移和計算壓力。
鉆孔是最常用的應力釋放技術測量殘余應力的方法。 通過在材料感興趣區域鉆一個小盲孔，小孔周圍會自發地建立一個新的應力平衡。 這導致了孔附近表面的位移，通常要使用應變計測量。棱鏡測量這些位移使用光學干涉儀。 然后測量的位移用于計算鉆孔之前體積中存在的應力。
測量過程
常規測量程序是，首先確定被測表面，即孔深的位置。激光小孔法通過一種電接觸方法，鉆頭開始向零件移動，直到開始切割它并接觸鉆頭和零件。或者，視覺可使用表面檢測。用戶可設置鉆孔深度列表并開始數據采集。單位鉆孔步驟始終自動執行。表面的激光圖像會在每個鉆孔步驟后進行傳輸。同時，附加用于定義孔位置和圖像比例的附加圖像。