可用連續光源或銳線光源。常用的連續光源是氙弧燈，常用的銳線光源是高強度空心陰極燈、無極放電燈、激光等。連續光源穩定，操作簡便，壽命長，能用于多元素同時分析，但檢出限較差。銳線光源輻射強度高，穩定，可得到更好的檢出限。
1.空心陰極燈-工作原理
空心陰極燈是一種特殊的低壓放電現象，在陰陽兩極之間加以300~500V的電壓，這樣兩極之間形成一個電場，電子在電場中運動，并與周圍充入的惰性氣體分子發生碰撞, 使這些惰性氣體電離。氣體中的正離子高速移向陰極，陰極在高速離子碰撞的過程中濺射出陰極元素的基態原子，這些基態原子與周圍的的離子發生碰撞被激發到激發態，這些被激發的高能態原子在返回基態的過程中會發射出該元素的特征譜線 .
2.空心陰極燈–特點
? 燈結構簡單、空心陰極燈制作工藝成熟;
? 工作性能穩定 ,壽命一般可以大于3000mA?h ,發光穩定性1小時漂移在±2%以內 發射強度基本可以滿足常規分析要求;
? 對儀器的光源部分的電源無特別要求，也不需要其他輔助設施;
? 價格便宜.
HCL作為原子熒光的激發光源也有其美中不足的地方，主要是輻射能量偏低，限制了原子熒光分析檢出下限的進一步降低 .
3.空心陰極燈的維護
選取適當大小的燈電流；
低熔點元素的燈在使用過程中不能有較大的震動，使用完畢后必須待燈管冷卻后才能取下，以防陰極填充物被倒出或空心陰極變形；
激活處理.如果燈不經常使用，則最好每隔一定時間在額定工作電流下點燃30min；
注意不要沾污發射線出射窗口，也不要有手指直接觸摸出射窗口。
原子熒光分析儀對原子化器的要求與原子吸收光譜儀基本相同。但所用的火焰與AAS的不同，主是因為在通常的AAS火焰中，熒光猝滅嚴重，必須用Ar稀釋的火焰。當用氫化物發生法時，直接使用Ar氣氛下的石英加熱方法進行原子化。
1.原子化器性能主要考慮的因素
原子化效率高；
低的輻射背景和背景閃爍；
原子熒光猝滅效應低；
被測元素的原子在光路中有較長的停留時間；
原子化效率穩定，記憶效應小，操作簡單；
使用成本低。
2.原子化器的主要類型
火焰原子化器；