1. 加熱抽取和輸送
由于近年來燃煤鍋爐絕大多數增加了濕法脫硫裝置，其中有些沒有安裝煙氣再加熱裝置（GGH），造成煙氣溫度過低、濕度飽和，并伴有大量的混合有脫硫劑和煙塵的泥漿液滴，對脫硫后的CEMS測量造成極大的影響。
冷干抽取法將煙氣加熱抽取、全程加熱輸送、經冷凝快速脫水后進入測量池測量。
在煙氣抽取、輸送和測量過程中，加熱的兩級過濾器濾除掉泥漿液滴和顆粒物，全程加熱在酸露點以上，保證煙氣不會冷凝，這樣即不會產生泥漿液滴對測量的干擾，也不會產生SO2溶于水的濃度損失。
2. 加酸冷凍干燥法
為適應國家超低排放和節能改造的要求，近年來燃煤鍋爐陸續進行了脫硫裝置的改造，濕法脫硫由于脫硫效率高成為各大燃煤電廠的首選。超低改造后煙氣具有濕度大、污染物SO2、NOX濃度低的特點，由于SO2極易溶于水。加酸冷凍干燥法，在傳統的快速制冷脫水的方法上，在冷凝器的熱交換器內注入磷酸溶液，可以進一步降低SO2的溶解損失，提高污染物的測量精度。
3. NOX高溫轉化
為實際測量煙氣中的NOX含量，需要同時檢測NO和NO2的濃度，需要將NO2轉化為NO進行測量，NOX高溫轉化爐，精確高溫控制，在轉化劑的作用下，將NO2轉化為NO，轉化效率可高達95%。