熱式氣體質量流量計是一種比較常見的可直接測量氣體質量的流量儀表，無需溫度、壓力補償就能夠方便準確地檢測管道中流動的空氣、氮氣、氫氣、氧氣、氯氣、天然氣、煙氣和其他（除乙炔氣體）各種氣體質量流量的新型流量儀表。其靈敏度高，非常適用于低流速大口徑現場測量，因此具備了高可靠性、高精度、穩定性強、重復性高、壓損小、結構多樣可選、維護安裝方便等優勢，目前已被各行業廣泛應用于現場氣體流量的測量。
熱式氣體質量流量計技術特點：
1.熱式氣體質量流量計無壓力損失或者說壓損非常小，無阻流元件，不存在測量引起的壓力損失，并且帶分流管熱分布式TMF及侵入式TMF雖然有阻流件，但壓力損失也不大。
2.可以測量極低流速或是微小流量現場，可以測量低壓氣體流量甚至是真空狀的分子流量。
3.熱式氣體質量流量計的儀表系數是隨氣體種類或是混合氣體組分而變，不能測量質量熱容（比熱容）變化的流體。因氣體種類或組分改變，其定壓比熱容Jp和熱傳導系數隨之而變，影響測量值。更不能用于混相流體或可能產生相變流體。
4.高可靠性，無活動部件。
5.熱分布式TMF用于CO、N2、02等接近理想氣體的雙原子氣體，可直接用空氣校驗。
6.測量氣體流量時，常以標準狀態下的體積流量單位表示，介質溫度／壓力變化幾乎不影響所測量值。若標準狀態下密度恒定(即組分不變)，則類似于質量流量。
熱式氣體質量流量計的發展還要追溯到20世紀早期，但也只是熱傳導效應原理的提出并沒有投入技術生產。直到20世紀80年代，在一些發達國家熱傳導技術正式運用于氣體質量流量計的測量中，但受到微電子技術限制，熱式氣體質量流量計存在不少缺陷，如受干擾強，響應速度慢。因此只適用于特殊小流量監測場合，并未得到各行業的認可。
21世紀后，微電子與計算機技術的迅速發展，老式的熱式氣體質量流量計的困境已飄然遠去，在精度、計算速度、抗干擾能力上都得到大幅度提升，一傳十十傳百就這樣熱式氣體質量流量計技術得到快速發展。目前國內氣體質量流量計技術也得到提高，國產氣體質量流量計也已廣泛應用于石油、天然氣、化工、食品、環保、醫藥、輕工、電力、冶金等行業中得到了認可。