DEPC是一種有效的核酸酶抑制劑，它能夠與很多酶的-NH，-SH或-OH等基團發生反應，從而破壞酶的活性中心。DEPC溶液濃度約為0.1% (v/v)時可使RNase失活，從而防止RNA被降解。在進行RNA實驗時，常用DEPC處理實驗所用的各種試劑。
我們通常所說的DEPC(處理)水是指用DEPC處理過并經高溫高壓消毒的超純水。超純水加0.1% DEPC，混勻過夜，121℃，20min。而后DEPC即降解成二氧化碳和酒精，失去毒性。
DEPC(處理)水可以用于RNA沉淀的溶解，含有RNA的各種反應體系如反轉錄、siRNA的退火等，以及其它各種要求無RNase、DNase和proteinase的反應體系。