電子探針的功能介紹

電子探針是一種利用電子束作用樣品后產生的特征X射線進行微區成分分析的儀器，可以用來分析薄片中礦物微區的化學組成。除H、He、Li、Be等幾個較輕元素外，還有U元素以后的元素以外都可進行定性和定量分析。

電子探針的大批量是利用經過加速和聚焦的極窄的電子束為探針，激發試樣中某一微小區域，使其發出特征X射線，測定該X射線的波長和強度，即可對該微區的元素作定性或定量分析。