電子探針可以對試樣中微小區域（微米級）的化學組成進行定性或定量分析。可以進行點、線掃描（得到層成分分布信息）、面掃描分析（得到成分面分布圖像）。還能全自動進行批量（預置9999測試點）定量分析。
由于電子探針技術具有操作迅速簡便（相對復雜的化學分析方法而言）、實驗結果的解釋直截了當、分析過程不損壞樣品、測量準確度較高等優點，故在冶金、地質、電子材料、生物、醫學、考古以及其它領域中得到日益廣泛地應用，是礦物測試分析和樣品成分分析的重要工具。
