電子經緯儀
測角設備采用了編碼度盤、光柵度盤、電柵度盤或記時測角度盤，實現了電子數字化自動測角。
(1)編碼度盤是刻有編碼的圓形玻璃度盤。編碼圖形是由一組排列在度盤上具有相鄰的透明區和不透明區的同心圓所組成。在每一圈碼道的一邊安放光源，另一邊裝有硅光電池或光電二極管。光源發射的光線，在透明區光線可通過，被光電二極管接收，有電流產生為“1”；在不透明區光線被遮住，無電流產生為“0”。于是，觀測角度就能夠通過所有碼道上的讀數頭測量，以二進制形式輸入微處理機處理后用十進制數字輸出。由于采用編碼圖形形式不同，分為二進制碼、循環碼(格雷碼)和矩陣碼。二進制碼和循環碼的碼道數等于輸出二進制的位數，位數越高，碼道的圈數就越多，碼道上排列的光電二極管就越多，但這將受到電子經緯儀外形尺寸的限制。為了克服這一缺點，采用測微裝置來提高測角系統的分辨率。
(2) 光柵度盤是在玻璃度盤表面上刻制許多均勻分布的透明和不透明的等寬度間隔的柵線的圓分度元件。電子經緯儀上用的光柵度盤的柵線都是輻射狀的直線。當兩塊光柵度盤面對面疊合，并使它們的柵線有微小交角時，就可以看到明暗相間的粗條紋，稱為莫爾條紋。當光柵相對于固定光柵轉動時，莫爾條紋沿著角平分線由里向外移動，莫爾條紋通過某參考點的數目和速度與光柵線通過該點的數目和速度相應。因此，測量莫爾條紋移過的條紋數目即可知道光柵的移動距離(轉角)。光柵度盤實際上是一個增量編碼器，它也采用測微裝置來提高測角系統的分辨率。
(3)電柵度盤是一種用于測量角度位移的傳感器，利用兩個平面繞組的互感隨角度位移而變化的原理制造的。它不需要光學系統，結構簡單。它具有純正弦交流工作狀態，可以應用成熟的測相技術進行高倍數電子細分。
(4)計時測角度盤是通過測量兩個“時間”標志的間隔來測量角度。在計時測角裝置內，有一個恒速旋轉系統和一個測量轉角α所需時間t的測時系統。恒速旋轉系統由石英振蕩器分頻控制的同步電機驅動，測時系統也用石英振蕩器分頻獲得時間基準。