含義不同: 電子衍射與x射線衍射一樣,遵從衍射產生的必然條件(布拉格方程+反射定律,衍射矢量方程或厄瓦爾德圖解等)和系統消光規律。形成不同: 多晶金屬材料經機械加工、熱處理等工藝,往往使晶粒的某些晶向或晶面與材料加工方向趨于一致。
當電子波（具有一定能量的電子）落到晶體上時，被晶體中原子散射，各散射電子波之間產生互相干涉現象。晶體中每個原子均對電子進行散射，使電子改變其方向和波長。在散射過程中部分電子與原子有能量交換作用，電子的波長發生變化，此時稱非彈性散射；若無能量交換作用，電子的波長不變，則稱彈性散射。