1. 原理：
ICP-MS全稱電感耦合等離子體質譜（Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometry），可分析幾乎地球上所有元素。ICP-MS以將ICP的高溫（8000K）電離特性與四極桿質譜計的靈敏快速掃描的優點相結合而形成一種新型的最強有力的元素分析、同位素分析和形態分析技術。該技術提供了極低的檢出限、極寬的動態線性范圍、譜線簡單、干擾少、分析精密度高、分析速度快以及可提供同位素信息等分析特性。這技術已廣泛應用于環境保護、半導體、生物、醫學、食品、冶金、石油、核材料分析等領域。
樣品經一定前處理后，用ICP-MS進行檢測，可同時測定多種元素。
2. 操作步驟：
2.1 開機前準備：
a. 設備:
?NexION 1000 ICP-MS專用Concentric Nebulizer(同心霧化器)。
b. 氣體準備：
?氬氣壓力 700KPa±3.5%
?反應氣（氫氣和氦氣）壓力 40KPa±20KPa
c. 循環水：
?循環水的要求為：蒸餾水; 溫度：15-20 ?C 壓力：230-400Kpa(33—58PSI)
?循環水中加入50ml IPA ，防止生菌。
d. 排風：
?要求排風量為：5-7m3/min(4.7-6.6m/s) 。
2.2 開機：
a. 開PC 顯示器、打印機。
b. 開PC 主機。
c. 開ICP-MS 電源開關。（儀器背后總電源及前面板左下角的電源開關）。
d. 雙擊桌面的“ICP-MS Top ”圖標 進入MassHunter。
e. 從Instument菜單中選擇“Instrument control”或者單擊“Instrument control”圖標，進入儀器控制面板。從“Vacuum”菜單中選擇“vacuum on”，抽真空，儀器由shutdown狀態向 standby狀態裝換。
從Meters菜單中選擇Meter Control Panel，進入如下圖所示的畫面，可以對真空、水流量、 環境溫度、霧室溫度、氣體壓力及射頻功率進行實時監測。（最多同時可選5項）
f. 如使用碰撞反應池，從Maintenance菜單中選擇Reaction Gas，勾選Open Bypass Valve，設置所需反應氣流量2-5ml/min，進行反應氣氣路吹掃。如果每天使用反應池吹掃5-10min即可;如長期不用使用前建議提前2 ml/min吹掃過夜。
g. 儀器狀態轉換為“STANDBY ”狀態后。開氬氣（0.7Mpa）,循環水、排風。清空廢液桶，卡上蠕動泵管，樣品管必須放入DIW (去離子水)中，若連有內標管，亦放入DIW 中。
h. 從“Maintenance ”菜單中選擇“Sample Introduction…”,設置參數。
i. 從Instument control界面選擇Plasma菜單中的Plasma ON或單擊下圖所示的點火圖標 進行點火，儀器由Standby 狀態向Analysis狀態轉換。
2.3 調諧：
a. 點火后，15-30分鐘預熱儀器，點擊“ICP-MS Top ”畫面的“Tune” 圖標進入調諧畫面。
b. 將樣品管放入1 ppb 調諧液中。若連有內標管，將內標管亦放入DIW 中。點擊“調諧靈敏度”圖標 ，進入靈敏度調諧畫面。從“Acq.Parameters ”菜單中選擇Acquisition parameters或單擊Acq.Parameters采集參數圖標，輸入采集的質量數7、89、205，156/140（CeO/Ce 氧化物），70/140（ Ce2+/Ce 雙電荷），并選中“Plot”， 點擊“OK”按鈕。點擊“Start” 按鈕開始采集，點擊“Stop” 按鈕停止采集。確認靈敏度、氧化物、雙電荷是否達到要求。否則重新自動調諧。
c. 單擊“分辨率/質量軸調諧”圖標 ，進入分辨率/質量軸調諧畫面。點擊“Start” 按鈕啟動采集。點擊“Stop”按鈕停止采集。確認分辨率/質量軸是否達到表一的要求。否則重新自動調諧。
注： 根據情況亦可進行自動調諧：
將樣品管放入1ppb調諧液，點擊Tune菜單下的Autotune或點擊“自動調諧”圖標 ，進入自動調諧。
2.4 采集方法的建立：
a. 在“ICP-MS Top”畫面，從“Methods” 菜單中選擇“Edit entire method”。
b. 進入“Edit Method”窗口。
c.選中所有選項，點擊“OK”按鈕。
d. 在“Method Comments” 中輸入方法注解。點擊“OK”按鈕。
e. 在“Select Sample Type” 畫面，選中全部樣品類型，點擊“OK”按鈕。
f. 在“Interference Equation ”窗口, 如使用No