石墨烯薄膜生長，表征和集成項目GLADIATOR 旨在開發高質量，大面積，低成本石墨烯薄膜（透過率≤ 90%，面阻≥ 10 Ohm/sq）。在未來的石墨烯CVD制程中，對石墨烯生長過程進行在線監控及實時質量控制是必不可少的手段。
UVISEL光譜橢偏儀被用于AUTh CVD 6’’石墨烯沉積系統中。AUTh t 與OET P.C. 通過在線橢偏首次展現了單層石墨烯與多層石墨烯在生長過程的差異性。UVISEL使用相調制技術，能夠提供深紫外-可見波段超高速的采集時間，同時提供高精度的數據，最佳的信噪比，是石墨烯薄膜的研發必備工具。
除了功能強大的光譜橢偏技術外，項目合作者還將繼續通過在線拉曼設備獲取完備的表面化學及石墨烯生長質量信息。該項目目前僅開展到一半，就已取得了非常有趣的結果，有希望在項目的中后期取得更加有價值的研究進展。
