簡述紫外光電子能譜的真空系統

　　光電子能譜要研究的是微觀的內容，任何微小的東西都會對它產生很大影響，因此光源、樣品室、電子能量分析器、檢測器都必須在高真空條件下工作，且真空度應在10-3 Pa 以下。電子能譜儀的真空系統有兩個基本功能，其一，使樣品室和分析器保持一定的真空度，以便使樣品發射出來的電子的平均自由程相對于譜儀的內部尺寸足夠大，減少電子在運動過程中同殘留氣體分子發生碰撞而損失信號強度。其二，降低活性殘余氣體的分壓。因在記錄譜圖所必需的時間內，殘留氣體會吸附到樣品表面上，甚至有可能和樣品發生化學反應，從而影響電子從樣品表面上發射并產生外來干擾譜線。