紫外光電子能譜UPS(Ultroviolet Photoelectron Spectrometer)以紫外線為激發光源的光電子能譜。激發源的光子能量較低,該光子產生于激發原子或離子的退激,最常用的低能光子源為氦Ⅰ和氦Ⅱ。紫外光電子能譜主要用于考察氣相原子、分子以及吸附分子的價電子結構。