JSM-7610F 熱場發射掃描電子顯微鏡
JSM-7610F是一款半浸沒式（semi-in-lens）高分辨率場發射掃描電鏡，照明系統采用High Power Optics（高性能電子光學系統），可以進行高分辨率、高精度的快速元素分析。配合Gentle Beam （GB模式即柔和光束），可以用幾百電子伏的入射電子束觀察樣品的淺表面。
JSM-7610F是一款半浸沒式（semi-in-lens）高分辨率場發射掃描電鏡，照明系統采用High Power Optics（高性能電子光學系統），可以進行高分辨率、高精度的快速元素分析。配合Gentle Beam （GB模式即柔和光束），可以用幾百電子伏的入射電子束觀察樣品的淺表面。
通過半浸沒式（semi-in-lens）物鏡進行高分辨率觀察和分析
半浸沒式（semi-in-lens）物鏡在低加速電壓下也能將電子束聚焦得很細；浸沒式（in-lens）肖特基場發射電子槍壽命長，能獲得穩定的電流，這兩者的結合既兼顧了高分辨率觀察同時也能夠進行高空間分辨率分析。
通過GB模式， 以能量極低的入射電子束觀察樣品的淺表面
通過給樣品加以偏壓并照射電子束，能夠利用分辨率高于一般模式的Gentle Beam模式 ，以幾百電子伏的入射電子對樣品的淺表面進行高分辨率觀察，這是迄今為止未能實現的。
高性能電子光學系統能進行快速、高精度的分析
電子光學系統采用了高性能電子光學系統。不僅能進行高分辨率觀察還可以進行穩定、快速、高精度的元素分析。
應用實例
應用1 利用半浸沒式（semi-in-lens）物鏡進行高分辨率觀察
樣品：Pt催化劑
加速電壓：15ｋV
樣品：納米碳管的STEM像
加速電壓：30ｋV
應用實例2 利用半浸沒式（semi-in-lens）物鏡進行高空間分辨率分析
樣品：LED截面（100nm以下多層結構的EDS分析）
應用實例3 利用Gentle Beam 觀察樣品的淺表面
樣品：濾紙
加速電壓：0.5eV
樣品：介孔二氧化硅
加速電壓：0.8eV
| 電子槍 | 肖特基場發射 |
| 物鏡 | semi-in-lens物鏡 |
| 分辨率 | 1.0 nm @ 15 kV、1.3 nm @ 1 kV 分析模式：3.0 nm @ 15kV WD8mm 5nA |
| 加速電壓 | 0.1～30kV |
| 束流 | 幾pA ～ 200nA @ 15 kV |
| 自動光闌角zei佳控制透鏡 | 內置 |
| 倍率 | x 25 ～ x 1,000,000(120mm x 90mm photograph size); ×75～×3,000,000(1280 x 960 pixels display); |
| 檢測器 | 高位檢測器（SED） 低位檢測器（LED） |
| 能量過濾器 | r-能量過濾器 |
| Gentle Beam模式 | 內置 |
| 樣品交換室 | 內置（具有干燥氮氣導入功能） 氣鎖式、可交換的zei大樣品：φ100mm×40mmH |
| 樣品臺 | 5軸馬達驅動、全對中測角樣品臺 |
| 樣品移動范圍 | X: 70 mm , Y: 50 mm，Z: 1.0～25 mm，傾斜:-5～70°, 旋轉: 360° |
選配*
可插拔式背散射電子檢測器（RBEI,* ）
低角度背散射電子檢測器（（LABE*）
波譜儀（WDS）
能譜儀（EDS*,**)
電子背散射衍射裝置（EBSD)
透射電子檢測器（STEM)
陰極熒光系統（CLD)
| 分辨率 | 1.0nm (15kV) , 1.3nm (1kV) , 分析當中 3.0 nm (15 kV、 束流電流 5 nA) | ||
| 倍率 | 25 to 1,000,000 | ||
| 加速電壓 | 0.1kV to 30kV | ||
| 探針電流 | 數 pA ～ 200nA | ||
| 自動光闌角zei佳控制透鏡 | 內置 | ||
| 檢測器 | 高位檢測器（SED）、低位檢測器（LDD） | ||
| 能量過濾器 | SP r-能量過濾器 | ||
| Gentle Beam （樣品偏壓） | 內置(施加樣品偏壓 0～ 2kV) | ||
| 樣品臺 | 5軸馬達驅動 全對中測角樣品臺 | ||
| 型 | Type IA 2 | Type II (Optional) | Type III (Optional) |
| X-Y | 70mm×50mm | 110mm×80mm | 140mm×80mm |
| 傾斜 | -5° to ～＋70° | -5° to ＋70° | -5° to ＋70° |
| 旋轉 | 360°endless | 360°endless | 360°endless |
| WD | 1.0mm ～ 40mm | 1.0mm ～ 40mm | 1.0mm ～ 40mm |
| 真空系統 | Two SIPs, TMP, RP |
可插拔式背散射電子檢測器 (RBEI)
低角度背散射電子檢測器 (LABE)
掃描透射電子檢測器 (STEM)
樣品臺導航系統
離子清洗裝置
能譜儀(EDS)
波譜儀 (WDS)
陰極熒光檢測器
各種樣品架
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