能譜儀：EDS(Energy Dispersive Spectrometer)是電子顯微鏡（掃描電鏡、透射電鏡）的重要附屬配套儀器，結合電子顯微鏡，能夠在1-3分鐘之內對材料的微觀區域的元素分布進行定性定量分析。
原理：利用不同元素的X射線光子特征能量不同進行成分分析。
EDS與WDS(Wave Dispersive Spectrometer)波普儀相比具有以下優缺點：
優點:
（1）能譜儀探測X射線的效率高。
（2）在同一時間對分析點內所有元素X射線光子的能量進行測定和計數， 在幾分鐘內可得到定性分析結果，而波譜儀只能逐個測量每種元素特征波長。
（3）結構簡單，穩定性和重現性都很好
（4）不必聚焦，對樣品表面無特殊要求，適于粗糙表面分析。