物理方法分析臭氧在國際上最流行的是紫外線吸收法。它是利用臭氧對254nm波長的紫外線特征吸收的特性，依據比爾—郎伯定律制造出的分析儀器，只要選擇合適長度的吸收池，就可以檢測0.002mg/m3~5%(vol)濃度的臭氧。其線形在4~5個數量級內都很好，該法已被中國作為環境空氣中測定臭氧的標準方(GB1/T1154348)。
紫外線吸收法不但可以適用于檢測氣體中臭氧濃度，也可以檢測水中溶存的臭氧濃度。
紫外線吸收法的儀器在美國、德國、瑞士、日本都有產品。中國北京分析儀器廠于1985年引進了美國莫尼特公司的ML-8810型紫外吸收式臭氧分析器，用于環境檢測，1992年以后又陸續擴展量程到100ppm、1000ppm。北京超能自控實驗技術研究所在1999年開發了ZX-01系列紫外線吸收式臭氧分析器，其測量范圍從0~10ppm(用于環境檢測)、0~100ppm、0~1000ppm、0~10000ppm到0~25000ppm。
