ICP質譜儀的解析大致步驟如下：
1、確認分子離子峰，并由其求得相對分子質量和分子式；計算不飽和度。
2、找出主要的離子峰（一般指相對強度較大的離子峰），并記錄這些離子峰的質荷比和相對強度。
3、對質譜中分子離子峰或其他碎片離子峰丟失的中型碎片的分析也有助于圖譜的解析。
4、用MS-MS找出母離子和子離子，或用亞穩掃描技術找出亞穩離子，把這些離子的質荷比讀到小數點后一位。
5、配合元素分析、UV、IR、NMR和樣品理化性質提出試樣的結構式。將所推定的結構式按相應化合物裂解的規律，檢查各碎片離子是否符合。若沒有矛盾，就可確定可能的結構式。
6、已知化合物可用標準圖譜對照來確定結構是否正確，這步工作可由計算機自動完成。對新化合物的結構，結論要用合成此化合物并做波譜分析的方法來確證。