在早期的質譜研究中，涉及的樣品一般為無機物，檢測目的包括測定原子量、
同位素豐度、確定元素組成等。針對這些要求，需要采用的離子源主要包括電感耦合等離子體（ICP）、微波等離子體炬（MPT）和其他微波誘導等離子體（MIP）、電弧、火花、輝光放電等，幾乎能夠用于原子發射光譜的激發源都可用。 質譜的檢測對象主要是有機物和生命活性物質，需要用到一些比較特殊（相對于AES 激發源）的電離源。這些電離源可分為 4 類，即電子轟擊電離（EI）、化學電離（CI）、解吸電離（DI）、噴霧電離（SI），如下表所示。除 EI 外，每種電離源都能夠同時得到大量的正離子和負離子，而且分子離子的種類跟離子化過程中的媒介（medium）或基體（matrix）有關。比如，CI 能夠產生（M H） 、（M NH4） 、（M Ag） 、（M Cl）-等離子作為分子離子，也能夠產生類似的碎片離子。