超高真空掃描探針顯微鏡是一種用于材料科學、物理學領域的分析儀器，于2011年12月15日啟用。
1、技術指標
工作溫度為室溫，樣品粗定位范圍>6 mm×6 mm，單管掃描范圍>6 μm×6 μm×2 μm。STM模式下可實現Si（1 1 1）和Au（1 1 1）表面的原子分辨；AFM接觸模式下可實現云母和Au（1 1 1）表面的原子分辨；AFM非接觸模式下可實現Si（1 1 1）表面的原子分辨。能經受不低于420K 烘烤。極限真空<2×10-8pa（烘烤后）。具有機械手用來進行樣品、針尖或懸壁梁的傳輸，其行程>160mm.。
2、主要功能
固體表面的微觀形貌測定、部分樣品的表面電子結構、掃描隧道譜測量。