透射電鏡構造原理
透射電鏡一般是電子光學系統、真空系統和電源與控制系統三大部分組成。電子光學系統通常稱為鏡筒,是透射電子顯微鏡的核心,它又可以分為照明系統、成像系統和觀察記錄系統。
下圖是電鏡電子光學系統的示意圖,其中左邊是電鏡的剖面圖,右邊是電鏡的示意圖和光學顯微鏡的示意圖對比。由圖中可以看出,電鏡中的電子光學系統主要包括電子槍、聚光鏡、試樣臺、物鏡、物鏡光闌、選區光闌、中間鏡、投影鏡和觀察記錄系統等幾部分組成,其成像的光路與光學顯微鏡基本相同。
電鏡的電子光學系統中,一般將電子槍和聚光鏡歸為照明系統,將物鏡、中間鏡和投影鏡歸為成像系統,而觀察記錄系統則一般是熒光屏和照相機,現在的電鏡往往還配有慢掃描CCD相機,主要用來記錄高分辨像和一般的電子顯微像。
透射電鏡的成像機理
電鏡和光鏡的光路形式相似,但成像原理不同,在光鏡中,由于樣品各部分對光的吸收不同形成明暗不同的區域,反映出的圖像就是樣品對光的吸收情況。但在電鏡中顯示的樣品極小,如吸收達到可觀察的程度,將會引起樣品的漂移和損害,因此,要力求使吸收減小到最低程度,故電鏡樣品要求切得很薄,在如此薄的樣品中,電子不考慮被吸收。
一、透射電鏡的成像原理
透射電鏡的電子束射向樣品,在通過樣品的過程中和樣品發生作用,穿出樣品已帶有樣品信息,然后再進行放大處理,在熒光屏上顯示出物質結構。
電子束穿出樣品時,除了構成了圖像背景的主要成分以外,還受到質量厚度影響,產 生不同散射角度的彈性散射電子。樣品質量密度高的區域,產生大角度的散射電子(大于 0. 1弧度)被物鏡光闌遮擋,僅有小角度的散射電子通過光闌孔,以致這部分電流密度小,在熒光屏上呈現出電子致密的暗區;相反,在質量密度低的區域,大角度散射電子少,透過的電子較多,故可呈現為電子透明的亮區。這樣,即可形成一個具有明暗反差對比的、容易辨認的電鏡圖像。因此,電鏡圖像的反差是由樣品不同部位電子散射力的差異所決定的,也反映了樣品不同部位電子密度的差異。
二、透射電鏡成像的有關概念
(1) 彈性散射:快速入射電子和樣品的原子核碰撞,使電子偏離很大的角度,其軌道有明顯的偏斜,稱為彈性散射。
(2) 非彈性散射:快速入射電子和樣品繞核運動的慢速電子相碰撞,重新分配它們的速度,這種相互作用稱為“非彈性散射”。由于樣品中的電子遠比核的數量重要,因此在透射電鏡成像過程中,非彈性散射是影響圖像反差的最重要因素。
三、成像形式
當電子束通過后,把樣品上質量厚度不同部分的電子密度投影到熒光屏上后,產生了明暗不同的區域,就形成了我們需要的圖像。