非晶半導體與其他非晶材料一樣,是短程有序、長程無序結構。
我們以非晶硅為例,說明非晶半導體的結構。共價鍵晶體有確定的鍵長和鍵角,A原子近鄰有4個Si原子,B原子除了和A原子形成一個共價鍵外,還與另外3個原子形成共價鍵,以虛線來表示。在不改變相鄰兩鍵間的鍵角情況下,可以繞AB軸旋轉,以改變虛線聯結的3個原子相對于A原子的位置。同樣,可以沿BC軸旋轉,使與C連結的原子位置發生改變……以這樣的方式連續繞各鍵旋轉,改變原子的相對位置,從而改變原有的周期性排列方式,形成非晶硅。
為了保持整個材料的連續性和短程有序性,原子相對旋轉必然產生兩種情形:一種是鍵長和鍵角相對于晶態有適當偏離;另一種是非晶態材料中少量共價鍵被破壞,成為懸鍵。蒸發法制備的非晶硅、鍺中,100~1000個原子就有一個懸鍵。非晶硅中的懸鍵數一般約為1019/cm3,用氫來飽和懸鍵,非晶硅中的懸鍵可減少至1016/cm3以下。但光照會產生斯塔伯-郎斯克(Staeber-Wronski)效應,懸鍵數目增加到約1017/cm3。近來發現,光照使非晶硅結構變得不穩定,產生體積膨脹,斯塔伯-郎斯克效應被認為是這種結構不穩定的后續效應。