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敞開式直線 光柵尺 2007年5月 敞開式直線光柵尺 直線光柵尺測量直線軸位置時不存在任何 敞開式直線光柵尺設計用于需要高精度測 機械結構 附加的機械傳動元件。因此，它能消除以 量的機床和系統。典型應用包括： 敞開式直線光柵尺包括光柵尺或鋼帶光柵 下潛在誤差源： ? 半導體工業的測量和生產設備