分辨率：
狹縫寬度（um）
光柵線對數（線/mm）
10
25
50
100
200
500
2.6
4.5
5.5
6.5
10.0
22.0
600
2.2
3.8
7.5
18.0
830 *
2.1
3.6
4.0
5.0
7.0
15.0
900 *
2.0
3.5
4.8
6.8
14.5
1000 *
1.9
3.3
4.6
6.6
14.0
1200 *
1.8
3.0
4.3
6.2
13.5
*理論值
