| 儀器名稱： | ESD閂鎖測試系統-Hanwa HED-S5000R&HED-C5000R |
| 儀器編號： | 18503446 |
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| 出廠日期： | |
| 購置日期： |
| 所屬單位： | 集成電路學院>微納加工平臺>高精尖 |
| 放置地點： | 荷清大廈高精尖中心一層實驗室 |
| 固定電話： | |
| 固定手機： | 15510039166 |
| 固定email： | dengmeijing@mail.tsinghua.edu.cn |
| 聯系人： | 鄧美靜（010-62791168,15510039166,dengmeijing@mail.tsinghua.edu.cn） |
| 分類標簽： | 集成電路 |
| 技術指標： | 1、 HBM脈沖電壓： ±10V到±8000V 2、 MM脈沖電壓： ±10V到±4000V 3、 HBM/MM電壓步進： 5V 4、ESD充電電壓精度：1%*ESD電壓±10V 5、 Latch-up測試用偏置電源電壓精度：為 1%±50mV 6 、 Latch-up測試用偏置電源電壓最小間隔：0.1V 7、 I/V漏電流量測精度：為1%±1/500?FS±10nA 8、 HBM模式下的Pre-Charge電壓：4KV放電時小于1V 9、可支持128個管腳的多種封裝類型器件 的測試 10、 CDM充電電壓量程及最小步進: 0-4KV，5V 11、 可支持DUT測試的最大范圍距離：不小于 80mm x 200mm |
| 知名用戶： | 吳華強（微電子），王自強（微電子） |
| 技術團隊： | 測試工作由實驗室資深的工程師或者技術人員進行操作和支援。 |
| 功能特色： | 這套系統可以模擬人體模式（HBM）、機器模式（MM）以及器件充電模式（CDM）對樣品進行靜電敏感度的測試。同時具備Latch up的測試功能。 |
| 項目名稱 | 計價單位 | 費用類別 | 價格 | 備注 |
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| ESD閂鎖測試系統測試費 | 元/小時 | 自主上機機時費 | 400.0 |