HIT電池工藝流程
HIT電池的一大優勢在于工藝步驟相對簡單,總共分為四個步驟:制絨清洗、非晶硅薄膜沉積、TCO制備、電極制備。
制備的核心工藝是非晶硅薄膜的沉積,其對工藝清潔度要求極高,量產過程中可靠性和可重復性是一大挑戰,目前通常用PECVD法制備。
HIT電池的制備工藝步驟簡單,且工藝溫度低,可避免高溫工藝對硅片的損傷,并有效降低排放,但是工藝難度大,且產線與傳統電池不兼容,設備資產投資較大。