ICP光源
ICP光源是ICP發射光譜儀的核心部分。原子發射光譜常用的激發源有火焰,電弧(直流電弧、交流電弧)、火花(高壓火花、低壓火花)、輝光放電、等離子體(直流等離子體DCP、電感耦合等離子體ICP、微波感生等離子體MIP、微波耦合等離子體CMP)。
等離子體光源是20世紀60年代發展起來的一類新型發射光譜分析用光源。等離子體光源不是火焰,而是含有一定濃度陰、陽離子能導電的氣體混合物。在等離子體中,陰離子和陽離子的濃度時相等的,靜電荷為零。
通常用氬等離子進行發射光譜分析,一般溫度可達10000K。