優點：（1）線性范圍大，檢出限低；“趨膚效應”，渦電流在外表面處密度大，使表面溫度高，軸心溫度低，中心通道進樣對等離子的穩定性影響小。也有效消除自吸現象，線性范圍寬（4～5個數量級）。
（2）溫度高，惰性氣氛，原子化條件好，有利于難熔化合物的分解和元素激發，有很高的靈敏度和穩定性；
（3）ICP中電子密度大，堿金屬電離造成的影響小；
（4）自吸效應、基體效應小， Ar氣體產生的光譜背景小；
（5）無電極放電，無電極污染；
（6）應用廣泛：70多種無機元素的定性、定量分析。環境化學、生物化學、海洋化學、材料 化學。
局限性：對非金屬測定靈敏度低，一般只能測定液體，儀器價格昂貴，維持費用較高。