隨著以傳感器系統發展為特征的傳感器技術的發展，質譜儀逐漸發現將傳感器與微處理器集成在一塊芯片上構成智能傳感器，在實際中并不總是必需的，而且也不經濟;重要的是傳感器(通過信號調理電路)與微處理器對散型計算機斌以智能的結合。
若沒有賦予足夠的“智能”的結合，只能說是“傳感器激機化一，還不能說是智能傳感器。于是進而認為“所謂智能質譜儀，就是一種帶有微處理器兼有信息檢測和信息處理功能的傳感器”、“傳感器(通過信號調理電路)與微處理器斌予智能的結合，質譜儀兼有信息檢測與信息處理功能的傳感器就是智能質譜儀原理”。
這些提法突破了傳感器與微處理器結合必須在工藝上集成在一塊芯片上的框框，而著重于兩者賦予智能的結合可以使智能質譜儀原理系統的功能由以往只起“信息檢測”作用擴展到兼而具有“信息處理”功能。而傳統觀念認為，儀器系統是執行信息處理任務的，即將有用信息從含有噪聲的輸人信號中提取出來，并給以顯示的裝置。一也就是說.
“信息處理”功能僅屬于“儀器”所有。目前，質譜儀把一個大的儀器系統與敏感元件采用徽機械加工與集成電路微電子工藝壓縮后，共同裝在一個小外殼里構成智能傳感器系統在工藝上已經實現。如摩托羅拉公司開發的具有微處理器(MCV)的CM06單片集成壓力傳感器。
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