SEMI認證的重要性
國際半導體協會SEMI 制定的S系列標準對半導體制造行業的安全和可持續發展具有深遠和重要的影響力。符合SEMI標準要求成為主流芯片制造商引進機臺設備的主要判別安全標準,國際晶圓廠家均要求設備及子系統廠商提供SEMI認證證書。SEMI認證得到國際晶圓大廠Intel、TSMC、SMIC等普遍認可,中國半導體設備廠商AMEC 、SMEE等眾多設備均已通過SEMI認證。SEMI認證已成為國際通行并被產業鏈廣泛認可的通行證。
SEMI S2標準主要內容
SEMI S2 標準涵蓋了半導體制造設備的環境、健康及安全條件,是一個綜合性的標準。
標準確保設備本身安全及對環境、對人員的安全性,認證中綜合考慮了與設備相關的使用者文件、危險性警告標志、安全連鎖裝置、緊急停機、電氣安全、消防安全、化學物質加熱槽、人體工學、危險能量隔離、機械設計安全、地震保護、自動機械設備、環境因素、排氣、化學品安全、游離輻射安全、非游離輻射安全、激光安全、噪音等內容。
SEMI S2 認證流程和周期
S2現場測試及評估提前2周左右預約(國外專家提前一個月左右),完成后一周內發NCR,所有整改及文件完成后, 2周左右簽發報告和證書。
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