X射線光電子能譜儀（XPS）基于光電效應，采用X射線激發被測樣品表面納米尺度內的原子發射光電子，通過系統探測其所發射光電子的動能等信息，進而實現樣品表面的元素組成及化學鍵狀態的定性和定量分析，能進行最外層表面區域的分析，能進行除H和He以外所有元素的分析，靈敏度高，具備化學組成、價態、深度剖析及成像、功函數特性的分析與表征功能。
