X射線熒光分析是確定物質中微量元素的種類和含量的一種方法，又稱X射線次級發射光譜分析，是利用原級X射線光子或其它微觀粒子激發待測物質中的原子，使之產生次級的特征X射線(X光熒光)而進行物質成分分析和化學態研究。
1948年由H.費里德曼(H.Friedmann)和L.S.伯克斯(L.S.Birks)制成第一臺波長色散X射線熒光分析儀，至60年代本法在分析領域的地位得以確立。
