XPS的測試與數據分析
XPS 的樣品一般是10mm*10mm* 5mm，也可以更小些，厚度不能超過 5mm。XPS 分析室的真空度可以達到<10-9 Pa, 因此樣品要干燥，不能釋放氣體。XPS的靈敏度很高，待測樣品表面，絕對不能用手，手套接觸，也不要清洗表面。
一、發展歷史
XPS理論首先是由瑞典皇家科學院院士、烏普薩拉大學物理研究所所長 K· Siebahn 教授創立的。原名為化學分析電子能譜: ESCA(Electron Spectroscopy for Chemical Analysis)。1954年研制成世界上第一臺雙聚焦磁場式光電子能譜儀。XPS是一種對固體表面進行定性、定量分析和結構鑒定的實用性很強的表面分析方法。
二、功能與特點
（1）定性分析--根據測得的光電子動能可以確定表面存在哪些元素：
a. 能夠分析出了氫，氦以外的所有元素，靈敏度約0.1at%。空間分辨率為100um, X-RAY 的分析深度在1.5nm左右。
b. 相隔較遠，相互干擾較少，元素定性的相鄰元素的同種能級的譜線標識性強。
c. 能夠觀測化學位移，化學位移同原子氧化態、原子電荷和官能團有關。化學位移信息是利用XPS進行原子結構分析和化學鍵研究的基礎。
（2）定量分析--根據具有某種能量的光電子的強度可知某種元素在表面的含量，誤差約20%。既可測定元素的相對濃度，又可測定相同元素的不同氧化態的相對濃度。
（3）根據某元素光電子動能的位移可了解該元素所處的化學狀態，有很強的化學狀態分析功能。
（4）由于只有距離表面幾個納米范圍的光電子可逸出表面，因此信息反映材料表面幾個納米厚度層的狀態。
（5）結合離子濺射可以進行深度分析。
（6）對材料無破壞性。
（7）由于X射線不易聚焦, 照射面積大,不適于微區分析。
（8）是一種高靈敏超微量表面分析技術，樣品分析的深度約為20?，信號來自表面幾個原子層，樣品量可少至10-8 g，絕對靈敏度高達10-18g。
三、制樣
樣品尺寸不宜過大，一般應不大于10*10*5mm；樣品表面應大體上平整；樣品最好能夠導電；表面應作脫脂處理，絕對避免用手觸摸；原始表面應盡可能盡快測試，避免長時間在空氣中存放；粉末樣品可以壓成塊狀，或撒布在膠帶上；也可以將粉末溶解在適當溶劑中做成溶液，涂在樣品臺上，再使溶劑揮發即成樣品；氣體、液體樣品多用冷卻法令其凝固。