x光電子能譜儀.待測物受X光照射后內部電子吸收光能而脫離待測物表面(光電子),透過對光電子能量的分析可了解待測物組成,XPS主要應用是測定電子的結合能來實現對表面元素的定性分析,包括價態。但是目前標準數據很少,最好用標準物質對照一下。