| 儀器名稱： | 高分辨場發射掃描電鏡 |
| 儀器編號： | 20009957 |
| 產地： | 英國 |
| 生產廠家： | ZEISS |
| 型號： | GeminiSEM 300 |
| 出廠日期： | |
| 購置日期： | 2020-08-26 |
| 所屬單位： | 集成電路學院>微納加工平臺>測試與分析 |
| 放置地點： | 微電子與納電子學系一層微納加工平臺 |
| 固定電話： | 01062784044-216 |
| 固定手機： | 13552207495 |
| 固定email： | chenyalu@mail.tsinghua.edu.cn |
| 聯系人： | 陳雅璐（010-62782076,13552207495,chenyalu@mail.tsinghua.edu.cn） 竇維治（010-62781090,13366273985,douwz@tsinghua.edu.cn） |
| 分類標簽： | 能譜儀 高分辨 掃描電鏡 |
| 技術指標： | 配備高分辨二次電子探頭（Inlen SE）,二次電子探測器（ETSE），背散射探頭，以及能譜儀和導航定位。 分辨率：0.7nm 15kV（二次電子），1.2nm 1kV（二次電子）。 放大倍數12-2000000倍。 加速電壓和著陸電壓可調范圍：0.02-30kV，10V步進。 工作距離：0.1mm-50mm，連續可調。 樣品臺最大移動行程：X/Y=130mm，Z=50mm，T=-4°~70°，R=360°。 樣品倉尺寸：內部直徑330mm，高度270mm，最大樣品尺寸200mm。 真空度：電子槍優于10-7Pa，樣品倉優于10-4Pa。 |
| 知名用戶： | 尤政：精儀系 陳兢：北京大學信息學院朱榮：精儀系 嚴清峰：化學系 任大海：精儀系 梁桂強：機械系 錢鶴：微電子所 吳華強：微電子所 蔡堅：微電子所 王喆垚：微電子所 伍曉明：微電子所 王敬：微電子所 鄧寧：微電子所 劉澤文：微電子所 |
| 技術團隊： | 測試工程師：陳雅璐 設備工程師：魯勇 |
| 功能特色： | 配備高分辨二次電子探頭（In-lens探頭），能譜儀。 具備大尺寸樣品測試條件。 具備導航定位功能。 |
樣品要求：
樣品直徑小于200mm。
導電性較高。
預約說明：
該設備需預約使用，按預約時間計費，如有特殊情況請在預約時間開始之前與設備管理員聯系取消預約。單次預約時間開始30min后未使用該設備的默認放棄本次預約時間，其他用戶可以在該時間段使用本設備。需要管理員輔助的請選擇”需要管理員輔助“。
| 項目名稱 | 計價單位 | 費用類別 | 價格 | 備注 |
|---|---|---|---|---|
| SEM自主上機 | 元/小時 | 自主上機機時費 | 700.0 |
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