密度 9.68Z 1.0
崔紹暉,符庭釗,王歡,夏洋,李超波1.中國科學院微電子研究所,北京100029;2.中國科學院大學,北京100049;3.集成電路測試技術北京市重點實驗室,北京100088摘要:為了實現低成本高靈敏度......