深度揭秘氦質譜檢漏技術——選擇及逆流檢漏儀
一、氦質談檢漏技術的發展從20世紀60年代開始，氦質譜檢漏技術被廣泛應用于航天、電子、原子能、制冷、電力、化工、汽車及食品等各個行業。特別是原子能、航天技術的發展，使氦質譜檢漏技術得到了飛速的發展。從早期的噴吹法開始，到如今已有了氦罩法、吸槍法、真空室法、檢漏盒法、真空室累積法、吸槍累積法、背壓法及前級泵出口采樣法等多種氦質譜檢漏技術。1956年，B.W.Schumacher開始研究背壓檢漏，并將它應用到密閉電子器件的檢漏中去。1973年D.A.Howl先生對背壓檢漏方法進行了詳盡的數學分析，他推導的漏率計算公式就是現在使用的背壓檢漏用的經典公式。從60年代末開始，蘭州物理所開展了大容器檢漏方法研究，將擬質譜檢漏技術應用于衛星環模設備、鐵路運輸液氫槽車、運載火箭氫氧液體燃料箱等大型容器的檢漏中。1996年，北京衛星制造廠閆治平等人采用氦質譜的非真空收集法對衛星整體進行檢漏。近10年來，曹輝玲等人將前級泵出口采樣法應用于電力工業及......閱讀全文
氦質譜檢漏儀的技術指標
1. 最小可檢漏率：5×10-12Pa·m3/s 2.漏率顯示范圍：1×10-3—1×10-12Pa·m3/s 3. 啟動時間：≤5min 4. 響應時間：≤1s 5. 檢漏口的最高壓力：1500Pa 6. 電源要求：220v，50Hz，單相，10A 7. 工作環境：5-35℃ 8
氦質譜檢漏儀的結構－(技術貼)
氦質譜檢漏儀的型號較多，但基本結構大同小異。它主要由質譜室、真空系統及電氣部分組成。一、質譜室不同類型的氦質譜檢漏儀的質譜室結構大同小異，都是由離子源、分析器和收集器三部分組成，它們放在一個抽成高真空的質譜室外殼中，如圖2所示。?圖2 質譜室1、離子源離子源的作用是使氣體分子電離，形成一束具有一定能
氦質譜檢漏儀的技術參數
1. 最小可檢漏率：5×10-12Pa·m3/s 2.漏率顯示范圍：1×10-3—1×10-12Pa·m3/s 3. 啟動時間：≤5min 4. 響應時間：≤1s 5. 檢漏口的最高壓力：1500Pa 6. 電源要求：220v，50Hz，單相，10A 7. 工作環境：5-35℃ 8
氦質譜檢漏儀壓氦法檢漏法介紹
壓氦法檢漏是將壓有一定壓力的示蹤氣體的被檢件放入檢漏夾具中，然后連至檢漏儀將其抽空，示蹤氣體通過漏孔泄漏出來，經檢漏儀檢測總泄漏量。 一般小型電子器件宜采用這種檢漏方法。首先將儀器調整好，再將器件放入加壓罐內壓入氦氣，氦氣進入有漏孔的器件內部，無漏孔的器件只是表面吸咐氦氣。器件加壓壓力和時間根
氦質譜檢漏儀的技術參數及特點
主要技術參數 最小可檢漏率： 5×10-12Pa·m3/s 漏率顯示范圍： 1×10-3～1×10-12Pa·m3/s 啟動時間： ≤5min 響應時間：
氦質譜檢漏儀行業應用
氦質譜檢漏儀的應用已從科學院、大專院校、實驗室及少數科研機構走向工礦企業，甚至鄉鎮企業、個體企業，可以說應用領域極其寬廣。 （1）航空航天高科技工業 1）例如火箭發動機及姿態發動機，過去是打壓刷肥皂水檢漏，現在重新改進工藝用氦質譜檢漏儀檢漏，采用正壓吸槍與氦罩法結合，使檢漏靈敏度大大提高，從
氦質譜檢漏儀是什么？
氦質譜檢漏儀為氣體工業名詞術語，用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質譜儀。氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數小，因而易通過漏孔并易擴散；另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設備，故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀（調整到僅對氦氣反應的工作狀態）的被檢容器上，若容器有漏
氦質譜檢漏儀工作原理
由于氦氣分子顆粒小,滲透性好,而且氦質譜檢漏儀對氦氣敏感,所以微漏也能檢出來
氦質譜檢漏儀的介紹
專業用于電廠檢漏的氦質譜檢漏儀。關鍵部件均為進口，性能穩定可靠。不僅靈敏度高，而且操作方便，能夠雙燈絲自動切換、自動調零、自動校準和自動量程切換。
氦質譜檢漏儀開機步驟
1、將總電源轉到“前級泵”，低真空表頭指示值應從左向右逐漸上升至2~15Pa，開抽速閥，開漏孔開關，表頭示值也應能抽到原來位置，再關抽速閥。 2、將總電源轉到“擴散泵”，燈亮，擴散泵開始加熱。 3、等20分鐘左右，擴散泵排氣管應熱，開冷規開關，“質譜室壓強”表頭指針應從左打向右(即冷規已激發
氦質譜檢漏儀的介紹
專業用于電廠檢漏的氦質譜檢漏儀。關鍵部件均為進口，性能穩定可靠。不僅靈敏度高，而且操作方便，能夠雙燈絲自動切換、自動調零、自動校準和自動量程切換。
氦質譜檢漏儀產品介紹
氦質譜檢漏儀利用磁偏轉原理制成的、對示漏氣體氦反應靈敏的、用于檢漏的質譜儀。氦質譜檢漏儀氣體工業名詞術語，用氦氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質譜儀。氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數小，因而易通過漏孔并易擴散；另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設備，故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體
氦質譜檢漏儀發展歷程
氦質譜檢漏儀的發展史必須追溯到上個世紀初。早在1918年，一次世界大戰期間，歐洲國家因戰爭和軍工的需要就開始接觸檢漏，并開始對檢漏手段的提升做了大量的基礎研究工作，直到1941年，當時正處于第二次世界大戰期中。當時，科學家獲知德國正在研制一種新型炸彈。這種炸彈的原理就是基于剛剛發現的鈾的同位素的
氦質譜檢漏儀工作原理
由于氦氣分子顆粒小,滲透性好,而且氦質譜檢漏儀對氦氣敏感,所以微漏也能檢出來
氦質譜檢漏儀的優點
（1）便攜式：很多小型便攜式檢漏儀不僅靈敏度高，而且便于攜帶，給野外作業和高空作業提供了比較大的方便。 （2）高壓強下檢漏：檢漏口壓強可高達數百帕左右，對檢測大系統和有大漏的工件很有益。 （3）自動化程度高：自動校準氦峰，自動調節零點，量程自動轉換，自動數據處理，可外接打印機。整機由微機控制
氦質譜檢漏儀的優勢
? ? 科技信息化不斷更新迭代的市場，氦質譜檢漏儀的應用技術也在不斷發展和完善。一方面過去的氦質譜檢漏儀不能滿足現階段的一個需求，而且對檢漏儀提出新要求的情況下，檢漏儀設備被迫使更新，另一方面每個行業的不足都在進步的過程，缺陷與不足相互補充，相互促進。而現在的氦質譜檢漏儀早已告別了四五十年代的初期情
氦質譜檢漏儀工作原理
? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?第二炮兵工程學院 作者：孫開磊? ? 氦質譜檢漏方法在真空檢漏技術領域里已經得到廣泛的應用,這種方法的優點是:檢漏靈敏度高,可以檢漏到10-11Pam3/s 數量級,儀器響應快,氦分子在儀器高真
簡介氦質譜檢漏儀原理
氦質譜檢漏儀是基于質譜法原理，以氦氣作為檢漏儀器。質譜儀由離子源、分析儀、收集器、冷陰極電離計、氣體萃取系統和電氣部分組成。質譜法室中燈絲發射的電子在室內來回振蕩，與室內氣體碰撞，氦氣泄漏進入室內，電離成正離子，正離子在加速電場的作用下進入人體磁場，當洛倫茲力效應偏轉時，電弧形成，加速電壓的變化
氦質譜檢漏儀杜瓦瓶檢漏
杜瓦瓶由不銹鋼內膽、外膽，高真空絕熱夾層、內置式汽化器、閥門管路系統等組成，用于儲存和使用低溫液化氣體產品（液氮、液氧、液氬、液化天然氣、液態二氧化碳）并能自動提供連續的氣體，該產品具有以下優點：1.儲氣量大；2.使用、儲存壓力低、安全性好、無高壓爆炸危險；3.外表美觀、潔凈衛生，無充裝、環境污染；
氦質譜檢漏儀鍍膜機檢漏
? ? 目前市場上常見的金黃色、鈷銅色、黑色等鉆頭、銑刀、模具等，這些器具都是經過鍍膜技術加工后的涂層工具。經過涂層處理后的硬質合金刀片可以延長刀具壽命并且滿足一些特殊的應用，刀具上的顏色不同也就說明涂鍍不同的涂層。? ? 鍍膜機檢漏原因：鍍膜機需要在高真空環境下工作，真空度的好壞直接影響鍍膜的品質
氦質譜檢漏儀鍍膜機檢漏
? ? 目前市場上常見的金黃色、鈷銅色、黑色等鉆頭、銑刀、模具等，這些器具都是經過鍍膜技術加工后的涂層工具。經過涂層處理后的硬質合金刀片可以延長刀具壽命并且滿足一些特殊的應用，刀具上的顏色不同也就說明涂鍍不同的涂層。? ? 鍍膜機檢漏原因：鍍膜機需要在高真空環境下工作，真空度的好壞直接影響鍍膜的品質
氦質譜檢漏儀常用檢漏方法詳解
? ? 氦質譜檢漏方法比較多,根據被檢件的測量目的可以分為兩種類型,一種是漏點型,另一種是漏率型;在實際檢驗過程中要根據檢驗的目的選用最合理的方法,要以被檢器件的具體情況而定,靈活運用各種檢漏方法。一、測定漏點型? 確定漏點型既是確定要檢部件的具體漏點或漏孔的位置,在大部件或大型部件中較為常見,如衛
氦質譜檢漏儀常用檢漏方法詳解
? ? ? ?氦質譜檢漏方法比較多,根據被檢件的測量目的可以分為兩種類型,一種是漏點型,另一種是漏率型;在實際檢驗過程中要根據檢驗的目的選用最合理的方法,要以被檢器件的具體情況而定,靈活運用各種檢漏方法。一、測定漏點型? ? ? 確定漏點型既是確定要檢部件的具體漏點或漏孔的位置,在大部件或大型部件中
氦質譜檢漏儀常用檢漏方法詳解
? ? 氦質譜檢漏方法比較多,根據被檢件的測量目的可以分為兩種類型,一種是漏點型,另一種是漏率型;在實際檢驗過程中要根據檢驗的目的選用最合理的方法,要以被檢器件的具體情況而定,靈活運用各種檢漏方法。一、測定漏點型? 確定漏點型既是確定要檢部件的具體漏點或漏孔的位置,在大部件或大型部件中較為常見,如衛
深度揭秘氦質譜檢漏技術——實際漏孔率確定、吸槍與氦氣
一、實際漏孔的確定如果在被檢容器上接一只滲氦型標準漏孔，它對氦氣的漏率為Q0，如圖25所示。利用標準漏孔比較法可以確定所檢出的實際漏孔的漏率值。其方法如下。??圖25 實際漏孔漏率測試系統?將檢漏儀及檢漏系統調速在檢漏狀態并保持不變。打開標漏閥，待輸出指示穩定后讀出標漏閥打開前、后檢漏儀穩定的輸出指
基于氦質譜檢漏儀下的檢漏技術研究
氦質譜檢漏儀主要是運用磁質譜理論和逆擴散理論及質譜分析方法，用氦氣作為探索氣體制成的檢測儀器。燈絲加熱發射出來的電子經過加速，在電離室內與殘余氣體分子和經被檢件漏孔逆擴散到電離室的氦氣相互碰撞使其電離成正離子，這些離子在加速電場作用下進入磁場，由于洛倫茲力作用產生偏轉，形成圓弧形軌道，其旋轉半徑
氦質譜檢漏儀的主要技術參數
專業用于電廠檢漏的氦質譜檢漏儀。關鍵部件均為進口，性能穩定可靠。不僅靈敏度高，而且操作方便，能夠雙燈絲自動切換、自動調零、自動校準和自動量程切換。 主要技術參數 最小可檢漏率： 5×10-12Pa·m3/s 漏率顯示范圍： 1×10-3～1×10-12Pa·m3/s 啟動時間： ≤5mi
氦質譜檢漏儀半導體設備及材料檢漏應用
真空設備在半導體行業中的應用愈來愈廣泛，例如真空鍍膜設備（蒸發，濺射），干法雷設備，熱處理設備（合金爐，退火爐），摻雜設備（離子注入機等）這些真空設備作為半導體技術發展不可或缺的條件必將起到越來越重要的作用。 真空設備在半導體行業中的應用愈來愈廣泛，例如真空鍍膜設備（蒸發，濺射），干法雷設備（
氦質譜檢漏儀半導體設備及材料檢漏應用
? ? 真空設備在半導體行業中的應用愈來愈廣泛，例如真空鍍膜設備（蒸發，濺射），干法雷設備（ICP,RIE,PECVD）,熱處理設備（合金爐，退火爐）， 摻雜設備（離子注入機等）這些真空設備作為半導體技術發展不可或缺的條件必將起到越來越重要的作用。? ? 半導體設備及材料需要檢漏原因：1、半導體設備
氦質譜檢漏儀噴氦法相關介紹
這是最常用的一種方法，一般用于檢測體積相對較小的部件，將被檢器件和儀器連通，在抽好真空后，在被檢器件可能存在漏孔的地方(如密封接頭，焊縫等) 用噴槍噴氦，如果被檢器件某處有漏孔，當氦噴到漏孔上時，氦氣立即會被吸入到真空系統，從而擴散到質譜室中，氦質譜檢漏儀的輸出就會立即有響應，使用這種方法應注意