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    聚焦離子束的工作原理

    液態金屬離子源離子源是聚焦離子束系統的心臟,真正的聚焦離子束始于液態金屬離子源的出現,液態金屬離子源產生的離子具有高亮度、極小的源尺寸等一系列優點,使之成為目前所有聚焦離子束系統的離子源。液態金屬離子源是利用液態金屬在強電場作用下產生場致離子發射所形成的離子源[1、2]。液態金屬離子源的基本結構如圖1所示在源制造過程中,將直徑0.5mm左右的鎢絲經過電化學腐蝕成尖端直徑只有5-10μm的鎢針,然后將熔融的液態金屬粘附在鎢針尖上,在外加強電場后,液態金屬在電場力作用下形成一個極小的尖端(泰勒錐),液態尖端的電場強度可高達1010V/m。在如此高的電場下,液態表面的金屬離子以場蒸發的形式逸出表面,產生離子束流。由于液態金屬離子源的發射面積極小,盡管只有幾微安的離子電流,但電流密度約可達106A/cm2,亮度約為20μA/sr。聚焦離子束系統聚焦式離子束技術是利用靜電透鏡將離子束聚焦成非常小尺寸的顯微切割技術,目前商用FIB系統的粒子......閱讀全文

    聚焦離子束系統知多少?

    納米科技是當今國際上的一個熱點。納米測量學在納米科技中起著信息采集和分析的不可替代的重要作用,納米加工是納米尺度制造業的核心,發展納米測量學和納米加工的一個重要方法就是電子束,離子束技術。近年來發展起來的聚焦離子束納米加工系統用高強度聚焦離子束對材料進行納米加工,結合掃描電子顯微鏡實時觀察,開辟了從

    聚焦離子束(FIB)技術介紹

    1.引言     隨著納米科技的發展,納米尺度制造業發展迅速,而納米加工就是納米制造業的核心部分,納米加工的代表性方法就是聚焦離子束。近年來發展起來的聚焦離子束(FIB)技術利用高強度聚焦離子束對材料進行納米加工,配合掃描電鏡(SEM)等高倍數電子顯

    聚焦離子束的工作原理

       液態金屬離子源離子源是聚焦離子束系統的心臟,真正的聚焦離子束始于液態金屬離子源的出現,液態金屬離子源產生的離子具有高亮度、極小的源尺寸等一系列優點,使之成為目前所有聚焦離子束系統的離子源。液態金屬離子源是利用液態金屬在強電場作用下產生場致離子發射所形成的離子源[1、2]。液

    2013年度北京電子顯微學年會大會報告(一)

      2013年12月24日, 2013年度北京市電子顯微學年會在北京天文館隆重召開,會上,來自中科院、北京大學、北京工業大學、北京建筑大學、鋼鐵研究總院等多位專家學者帶來了關于電鏡在教學科研、納米材料、生物醫藥、探傷等方面應用的精彩報告,科揚、FEI、蔡司、布魯克、牛津

    聚焦離子束加工中的主要缺陷

    聚焦離子束(FIB)是一種微納米加工技術,其基本原理與掃描電子顯微鏡(SEM)類似,采用離子源發射的離子束經過加速聚焦后作為入射束,高能量的離子與固體表面原子碰撞的過程中可以將固體原子濺射剝離,因此,FIB更多的是被用作直接加工微納米結構的工具。結合氣體注入系統(GIS),FIB可以輔助進行化學氣相

    一種新型二次離子質譜的一次離子源及其離子光學系統

      1 引 言   二次離子質譜(Secondary ion mass spectrometry, SIMS) 是目前靈敏度最高的表面化學分析的手段之一。它具有10-9量級的靈敏度, 能分析幾乎所有的導體、半導體和絕緣體材料, 甚至還可以檢測不易揮發的有機分子等[1~3]。通常, 

    聚焦離子束顯微鏡FIB都有哪些功能?

    聚焦離子束顯微鏡FIB主要用途: 芯片的電路修補、斷面切割、透射電鏡樣品制備。聚焦離子束顯微鏡FIB應用范圍: 1.定點切割 2.穿透式電子顯微鏡試片 3.IC線路修補和布局驗證 4.制程上異常觀察分析 5.晶相特性觀察分析 6.故障位置定位用被動電壓反差分析。在各類應用中,以線路修補和布局驗證這一

    原位電性能測試

     聚焦離子束(Focused Ion beam, FIB)的系統是利用電透鏡將離子束聚焦成非常小尺寸的顯微切割儀器。目前商用系統的離子束為液相金屬離子源,金屬材質為鎵(Ga),因為鎵元素具有低熔點、低蒸氣壓及良好的抗氧化力;典型的離子束顯微鏡包括液相金屬離子源、電透鏡、掃描電極、二次粒子偵

    兩臺“特殊”質譜儀落戶核工業北京地質研究院

      核工業北京地質研究院分析測試研究中心是以核能材料、放射性標準物質的制備、地質礦產和環境分析測試技術研究與服務為主的綜合性檢測實驗室技術機構,也是核工業地質行業的仲裁分析測試實驗室,是地質行業同位素分析、微束分析等領域的權威機構。  核工業北京地質研究院分析測試研究中心采購了兩臺特殊的質譜儀,今年

    聚焦離子束顯微鏡(FIB)機臺和測試方法簡介

    工作原理聚焦離子束顯微鏡(FIB)的利用鎵(Ga)金屬作為離子源,再加上負電場 (Extractor) 牽引尖端細小的鎵原子,而導出鎵離子束再以電透鏡聚焦,經過一連串可變孔徑光闌,決定離子束的大小,再經過二次聚焦以很小的束斑轟擊樣品表面,利用物理碰撞來進行特定圖案的加工,一般單粒

    聚焦離子束技術(FIB)技術應用

       聚焦離子束技術(Focused Ion beam,FIB)是利用電透鏡將離子束聚焦成非常小尺寸的離子束轟擊材料表面,實現材料的剝離、沉積、注入、切割和改性。隨著納米科技的發展,納米尺度制造業發展迅速,而納米加工就是納米制造業的核心部分,納米加工的代表性方法就是聚焦離子束。近

    一種原子力顯微鏡探針及其制備方法與流程

    背景技術:傳統的原子力顯微鏡探針是由微電子機械技術加工而成,其材料成分為硅或者氮化硅,其缺點是缺乏韌性,容易破損。本發明引入聚合物通過紫外固化、并引入金、鎳納米顆粒,使得探針既有一定硬度,亦有一定的韌性。技術實現要素:目的:為了克服現有技術的缺陷,本發明提供一種原子力顯微鏡探針及其制備方法,既可以增

    聚焦離子束(FIB)直寫技術研究

    現代半導體制造業迅速發展,對產品的質量要求越來越高,對相關的微分析技術的要求也越來越高。除了IC 制造以外,納米結構在新元件上應用越來越多,特別是納米光子和納米光學。聚焦離子束(Focused Ion Beam,FIB)系統是在常規離子束和聚焦電子束系統研究的基礎上發展起來的,除具有掃描電子顯微鏡具

    TESCAN中國總經理馮駿:酒香也怕巷子深

      分析測試百科網訊 2017年10月10日~13日,北京分析測試學術報告會及展覽會(BCEIA 2017)在北京國家會議中心舉辦,泰思肯貿易(上海)有限公司(以下簡稱“TESCAN”)攜新品參加了此次展會。分析測試百科網有幸采訪到TESCAN中國總經理馮駿,聽他介紹了TESCAN中國公司發展情況以

    “重大科學儀器設備開發”重點專項2020年度項目申報指南

      為切實提升我國科學儀器設備的自主創新能力和裝備水平,促進產業升級發展,支撐創新驅動發展戰略的實施,經國家科技計劃戰略咨詢與綜合評審特邀委員會、國家科技計劃管理部際聯席會審議,“重大科學儀器設備開發”重點專項已于2016 年度啟動。根據本重點專項實施方案的部署,現發布2020 年度項目申報指南。 

    從樣品制備到實際操作,手把手教你拍出高質量TEM照片

    透射電子顯微鏡(Transmission Electron Microscope,TEM)具有很高的分辨率和放大倍數高,廣泛應用于材料科學、地球科學、醫學和生命科學等領域。透射電子顯微鏡結合不同的附件(X射線能譜分析(EDS)、電子能量損失譜(EELS)),可以同時提供形貌、成分、結構信息,它可以揭

    拉曼光譜-掃描電鏡聯用實現對碳材料的快檢分析 (一)

    簡介:碳材料通常都具有一些特殊的性質,這些性質使得它們在許多工業領域內都具有廣泛的應用。例如石墨烯、石墨、金剛石等就是幾種由碳元素組成,互為同素異形體的碳材料。這些碳材料都具有強度高、輕量化、導電能力強、耐熱性好等特點。并且它們都是由碳元素組成,彼此以碳-碳鍵連接。這種特點使得碳材料極其適合采用拉曼

    氬離子拋光在石油地質中的應用

    氬離子拋光是一種精細拋光制樣技術,在材料科學、石油地質學等領域有著非常廣泛的應用,尤其對于成分、軟硬度不均勻的樣品有著非常好的拋光效果,且具有加工速度快、可以選擇我們需要觀察的位置進行定點拋光等優點。獲得的納米級的拋光截面和平面樣品以便進行電子顯微學的觀察和分析。本次講座,展示了氬離子拋光技術在石油

    物理所在三維納米結構的加工與應用研究中取得進展

      三維納米結構既可具有納米材料與結構所賦予的量子效應、尺寸效應與表面效應等新奇物性,又可通過三維幾何結構實現電聲子輸運與耦合、自旋極化、激子行為、波陣面調控等物性的協同調制,獲得平面器件不具有的功能。目前,三維納米結構的可控加工方法明顯不足,阻礙了三維納米器件的發展,并制約著高端納米產業化技術的形

    TESCAN(中國)與上海交大分析測試中心聯合實驗室揭牌

      ——暨TESCAN(中國)上海應用中心開幕  分析測試百科網訊 2017年5月18日,上海交通大學分析測試中心和TESCAN(中國)聯合實驗室揭牌儀式在上海交通大學閔行校區舉辦。上海交通大學分析測試中心主任張兆國、副主任金承鈺、副研究員何琳,TESCAN董事會主席兼CEO Jaroslav Kl

    聚焦離子束法制備冷凍含水超薄切片

      低溫電子斷層成像三維重構(cryo-ET)技術是發展結構生物學和細胞生物學重要的研究手段。該技術可以得到更真實的接近天然狀態的細胞內部高分辨率的三維結構以及蛋白質大分子定位及相互作用的信息,是蛋白質組學研究的重要輔助手段被成為“可視化蛋白質組學”(Visual Approach to Prote

    日本電子發布截至3月31日的2020年財報:收入1172億日元

    分析測試百科網訊,日本電子(JEOL)發布截止到2020年3月31日的2020年財報,銷售收入1172.43億日元,相比去年1112.89億日元增長5.4%。2019年毛利潤448.65億日元,毛利率為38.27%,運營利潤7.03億日元,相比去年增5.4%,凈利潤為5.389億日元,凈利潤率為4.

    芯片反向技術干貨:FIB芯片電路修改(一)

      在各類應用中,以線路修補和布局驗證這一類的工作具有最大經濟效益,局部的線路修改可省略重作光罩和初次試作的研發成本,這樣的運作模式對縮短研發到量產的時程絕對有效,同時節省大量研發費用。封裝后的芯片,經測試需將兩條線路連接進行功能測試,此時可利用聚焦離子束系統將器件上層的鈍化層打開,露出需要

    二次離子質譜SIMS應用:從半導體材料到生命科學

    在2012年以前,汪福意研究員一直帶領團隊通過有機質譜,如電噴霧電離質譜(ESI-MS)、基質輔助激光解析電離質譜(MALDI-MS)等進行藥物相互作用組學研究、抗腫瘤藥物的研究和開發等工作。一次與生物學家偶然的討論給汪福意帶來了啟發,他萌生了使用高空間分辨率的二次離子質譜成像進行化

    碳材料的高效檢測:拉曼光譜&掃描電鏡的聯動操作 (二)

    5集拉曼光譜、掃描電鏡及聚焦離子束于一體:圖1:將共聚焦顯微拉曼光譜儀安裝到聚焦離子束掃描電鏡上,兩種分析之間的切換只需通過單擊鼠標即可完成將共聚焦顯微拉曼光譜儀安裝到聚焦離子束掃描電鏡上,由此產生的一種新型分析工具能夠更加輕易、方便的對待分析區域進行掃描電鏡分析或者拉曼光譜分析,兩者之間的切換也更

    泰斯肯中標吉林大學聚焦離子束電鏡光譜制樣聯用系統

      分析測試百科網訊 近日,吉林大學聚焦離子束電鏡光譜制樣聯用系統(JLU-ZC19100)招標采購項目評標工作已結束,功能擴展性要求投標產品可擴展安裝飛行二次質譜儀(TOF-SIMS)或拉曼光譜單元(需提供證明文件及至少兩名國內用戶)。此次采購共計1套,中標品牌:TESCAN SOLARIS,中標

    武漢大學預算1000萬采購質譜儀

      近日,湖北省武漢大學發布一條采購計劃,于2020年9月政府采購聚焦離子束-電子束雙束電鏡與飛行時間二次離子質譜儀聯用系統項目所在采購意向:武漢大學2020年9月政府采購意向采購單位:武漢大學采購項目名稱:聚焦離子束-電子束雙束電鏡與飛行時間二次離子質譜儀聯用系統預算金額:1000.000000萬

    TESCAN董事會主席Jaroslav Klíma獲終身成就獎

      TESCAN董事會主席兼CEO Jaroslav Klíma成為今年捷克斯洛伐克顯微學會的獲獎者,他于5月14日在2019年度捷克和斯洛伐克顯微學會會議上被授予終身成就獎。圖:TESCAN CEO Jaroslav Klíma被授予終身成就獎  致力于“顯微鏡事業”的一生  Jaroslav K

    LECO力可:極客型企業亦能興盛百年

      ——訪力可色譜質譜部總監張志杰  分析測試百科網訊 在現代科學儀器發展的100多年歷史中,長存80年的企業不多,1936年創立的LECO力可公司即是其中一家。而近年來在多維色譜-質譜聯用技術領域持續不斷的耕耘,更使力可成為專業市場領先的“極客”型企業。近日,分析測試百科網采訪到美國力可公司色譜質

    二次離子質譜儀原理簡介

    二次離子質譜儀原理簡介二次離子質譜儀(Secondary Ion Mass Spectrometry, SIMS)又稱離子探針(Ion Microprobe),是一種利用高能離子束轟擊樣品產生二次離子幵迚行質譜測定的儀器,可 以對固體或薄膜樣品迚行高精度的微區原位元素和同位素分析。由于地學樣品的復雜

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