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  • 發布時間:2018-07-26 22:45 原文鏈接: 簿膜X射線能譜定量分析準確度的探討

    本文通過在EM400T透射電鏡上用一些標準成分的樣品進行薄膜無標樣成份分析實驗,檢驗了EDAX9100能譜儀的分析準確度。在本試驗所用的樣品范圍內,其準確度為:近鄰元素同一X光線系分析相對誤差為5~10%,非近鄰元素不同線系分析相時誤差較大,可達20~50%。試驗證明在分析元素的質量吸收系數之差Δμ較大時,還必須考慮吸收修正。通過對K因子的討論,得出與本實驗結果符合比較好的薄膜能譜理論公式組合為:取BeThe—Powell公式的電離截面QBP∞(1n0.65U)/U·Ej2,K系、L系、M系的線系常數調整后取bK:bL:bM=0.35:0.35:0.24,熒光產額用Bambynek的ωK和wentzel的ωL和ωM。用以上公式組合并經過吸收修正,對所有線系計算結果相對誤差小于10%。

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