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  •   在國家重大研究計劃課題支持下,國家納米科學中心開展的納米臺階標準研制工作已取得重要進展。

      經國家質量監督檢驗檢疫總局發文(國質檢量[2011]168號和[2011]339號)批準,中心已獲得5個系列納米臺階高度國家一級標準物質證書及計量器具許可證。該系列標準由納米中心劉前、王奇、郭延軍、李曉軍等與中國計量科學研究院經過5年的通力合作完成,是國家首次批準的物理量納米標準物質。

      該標準物質采用了計量型原子力顯微鏡進行絕對法定值,定值結果直接溯源至激光波長國家基準,定值數據準確可靠,不確定度達到國際先進水平,填補了國家空白,為我國探針型設備,如掃描探針顯微鏡(SPM)、原子力顯微鏡(AFM)、臺階儀、輪廓儀等,提供了從納米到微米尺度的校準用標準物質,并能為這些設備所在實驗室的檢測結果比對及溯源提供依據,對滿足國內半導體、微電子行業應用需求,及推動我國微納米科學技術的發展具有重要意義。

    名稱編號標準值(nm)相對不確定度(%)
    納米臺階高度標準物質GBW139501001.8
    納米臺階高度標準物質GBW139512001.2
    納米臺階高度標準物質GBW13952502.8
    納米臺階高度標準物質GBW139535000.8
    納米臺階高度標準物質GBW1395410000.

    系列納米臺階高度標準物質研究取得進展

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