針對通常的X射線熒光光譜儀，比較普及的激發方法有一下幾種：
一、用放射性同位素源激發
源激發是將小量的放射性同位素，如55Fe（鐵）、109Cd（鎘）等化學物質固封在密封性的多出小圓孔的鉛罐中，持續發射點出低能γ放射線，經準直后照射被測化學物質上造成X瑩光。放射性同位素源傳出的X射線抗壓強度是十分平穩的，可是X射線強度小，分布不能調。
單色性好、信噪比高、變輕、變輕了。適合生產制造成手持式或簡單式實驗室儀器。但是輸出功率低，側量的敏感度較低。
二、用X射線管激發
X射線管激發是應用X射線管做為激發源激發出X射線，經準直后照射被測化學物質上激發X瑩光。X射線管所造成的燈源——原級X射線譜抗壓強度的效率性在于靜電發生器出示給X射線管的髙壓和管電流的效率性，因而應用X射線管能夠根據調整管流和髙壓從而可選擇性地提升或降低對一些與眾不同原素的激發高效率，提升思維邏輯。通常 選用高頻變壓器，其特性是變輕、噪聲寸和變輕了，且具備高寬比效率性，在互聯網技術輸出功率轉變不超出±10%時，效率性可超過0.0005%。
造成X射線的化學物質，通常 稱之為靶。廣泛的靶材有W、Pt、Mo、Au、Cr、Rh、Ag，剖析原素方面和應用譜線經常出現差別。
依據出射彈出框的不一樣可分成側窗式（side window tube，SWT）和端窗式（end window tube, EWT）兩大類。有利于提升超輕元素和普遍原素的檢測限和減少側量時間，近年來在順序式譜儀中普遍應用的端窗式X射線管在特性上帶挺大發展趨向。
手持式實驗室儀器一般 應用低化學能（<500mW）的實用化X射線管（直徑15mm），這是根據發電廠結晶如鉭造成的光子美容碰撞Cu靶得到X射線。在發電廠結晶提溫-冷卻循環水消化系統周期時間（2~5min）內發射點出鉭和銅的X射線。
三、同步輻射燈源
同步輻射是帶電粒子在電磁場內環形滑軌中以相對論速度健身運動時要造成的電磁波輻射。同步輻射光子美容束的化學能很寬，通常 在紫外線和X射線化學能范圍之內，可根據調整帶電粒子化學能變動光子美容化學能，可以用電子光學光學散射方法開展化學能挑選。具備化學能可調式、更亮等特性和具備偏振性強、方位可調式等優勢。
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