牛津儀器推出五個腔體集成自動系統

　　作為行業領先的系統制造商--牛津儀器等離子技術部，最近為全球領先的太陽能電池制造商Robert Bosch推出了一款五個腔體的集成自動系統。該System100Pro的沉積工具是一個有著能夠提供多種沉積技術能力并且允許在不破真空狀態下完成多個制程步驟的"六向處理器"。

　　牛津儀器公司的集成自動系統為處理程序和處理模塊提供了高真空的選項，從而減少污染產生的程度，以及對集成不同沉積技術的能力。交付給Bosch的系統還包括一個選項可達700℃的高溫基板表和智能、靈活的電動坡道，以及低功耗的等離子停止選項，從而減少在程序啟動時的潛在危害。

　　牛津儀器等離子技術部門銷售和客戶支持總監Mark Vosloo表示，"為知名的客戶提供包含五個腔體自動系統，使我們能夠成功地結合多種技術到集群里，例如能夠同時運行ALD和等離子CVD沉積氧化鋁集群。隨著對可再生能源需求的增加趨勢，我們正在使自己成為在持續增長的PV R&D市場的一個重要供應商。

　　總部設在德國Stuttgart的Bosch公司是一家開發，生產、銷售的晶片和硅薄膜太陽能電池具有高輸出穩定、輸出容差小的特點。該公司已經購買了牛津儀器的集成自動系統用于研究和開發。　　

　　關于牛津

　　牛津儀器公司于1959年創建于英國牛津，現已成為世界領先的科學儀器跨國集團公司，是光譜儀、測厚儀、能譜儀、等離子設備、超導超低溫產品、核磁共振儀、低溫泵壓縮機、X射線管等方面的專家，擁有分布于英國、美國、芬蘭、丹麥、德國和中國的十幾個工廠以及遍及全球的分公司或辦事處。

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