“跨尺度微納米測量儀的開發和應用”項目啟動

　　3月20日,國家重大科學儀器設備開發專項“跨尺度微納米測量儀的開發和應用”項目首次工作會議在市計測院舉行。國家質檢總局科技司副處長謝正文主持會議，清華大學院士金國藩、同濟大學院士李同保、上海理工大學院士莊松林，國家質檢總局科技司副司長王越薇、市質監局總工程師陸敏、市科委處長過浩敏等專家和領導出席會議。

　　會上，項目總體組、技術專家組、項目監理組、用戶委員會和項目管理辦公室宣布成立。會議報告了項目及任務實施方案，介紹了項目管理辦法，并由專家現場進行了技術點評和項目管理點評。

　　王越薇對項目推進提出了具體工作要求。她要求項目所有單位本著為國家產業發展負責的精神，對項目予以高度重視。牽頭單位要圍繞總體目標，做細做實項目推進計劃，項目各參與單位必須按時保質完成分目標，確保項目順利推進。她要求加強項目的過程管理，制定并落實各項管理制度，對項目推進中出現的問題，要協調解決，必要時召開專題會議，并且做好包括基礎數據、過程記錄在內的檔案管理。她還要求加強項目的財務管理，牽頭單位和各參與單位都要重視財務管理，尤其要提高國家級重大項目的財務管理水平，確保項目經費的使用符合財務管理要求。最后，王越薇長還代表國家質檢總局科技司表示，將盡全力做好項目實施單位與國家科技部的橋梁工作。

　　會上，陸敏要求市計測院勇于創新，集中力量確保項目順利實施，并通過科研項目促進科研管理水平和能力的提高。

　　過浩敏感謝國家質檢總局對項目的支持，肯定了重大專項對上海市創建具有國際影響力的科創中心的重要意義，并表示市科委將盡全力做好項目實施的地方配套服務工作。

　　“跨尺度微納米測量儀的開發與應用”項目以我國近年來多項創新技術及市計測院科研成果為基礎，突破我國在微納米檢測技術領域檢測方法集成開發的諸多技術瓶頸，旨在攻克宏微聯動多軸驅動和多測頭集成、基于原子沉積光柵的納米量值溯源等關鍵技術，研制用于計量、工業生產、產品檢測中微形貌和幾何尺寸測量的微納米測量儀，并構建跨尺度、高精度微納米測量與研發平臺，為我國國防、航空航天、半導體制造業、微機電產業、大氣污染物防治等領域提供有效的納米計量技術支持和保障，提升我國高新技術產業中微納米尺寸定量化測量的技術水平。

　　在國家質檢總局的組織和指導下，項目經過近兩年半時間的籌備和醞釀，于2014年10月獲得國家科技部批準立項。項目牽頭單位為上海計測工程設備監理有限公司，第一技術支撐單位為市計測院，16家參加單位涉及清華大學、上海交通大學、復旦大學、同濟大學等國內頂級高校，以及中國工程物理研究院、國家納米中心、中國科學院等國內頂尖研究機構。

　　項目研究過程中，將以產業需求為牽引，以實際應用為導向，注重基于國際先進技術基礎上的集成創新和工程化、產業化開發，著力挖掘科研成果轉化的潛力，提高我國微納米測量科學儀器設備的自主創新能力和自我裝備水平，并促進產、學、研、用的結合。項目完成后，將形成具有完全自主知識產權的儀器產品、附件、服務、標準等成果，能夠填補國內空白，挑戰國外儀器在相關領域的權威地位，促進納米科技與經濟緊密結合、科技創新與產業發展緊密融合，更樹立國家在納米制造、微電子、新型材料、超精密加工制造等領域的國際權威地位與話語權。