?能譜儀EDS

能譜儀EDS(Energy Dispersive Spectrometer)是電子顯微鏡（掃描電鏡、透射電鏡）的重要附屬配套儀器，結合電子顯微鏡，能夠在1-3分鐘之內對材料的微觀區域的元素分布進行定性定量分析。  原理：利用不同元素的X射線光子特征能量不同進行成分分析。  與WDS(Wave Dispersive Spectrometer)波普儀相比具有以下優缺點： 優點:  （1）能譜儀探測X射線的效率高。
  （2）在同一時間對分析點內所有元素X射線光子的能量進行測定和計數，
     在幾分鐘內可得到定性分析結果，而波譜儀只能逐個測量每種元素特征波長。
  （3）結構簡單，穩定性和重現性都很好
  （4）不必聚焦，對樣品表面無特殊要求，適于粗糙表面分析。 X射線光電子能譜分析(XPS,X-ray photoelectron spectroscopy)測試的是物體表面10納米左右的物質的價態和元素含量，而EDS不能測價態，且測試的深度為幾十納米到幾微米，基本上只能定性分析，不好做定量分析表面的元素含量。 其主要應用：
XPS的原理：待測物受X光照射后內部電子吸收光能而脫離待測物表面(光電子)，透過對光電子能量的分析可了解待測物組成,XPS主要應用是測定電子的結合能來實現對表面元素的定性分析，包括價態。XPS（X射線光電子能譜）的原理是用X射線去輻射樣品，使原子或分子的內層電子或價電子受激發射出來。被光子激發出來的電子稱為光電子。可以測量光電子的能量，以光電子的動能為橫坐標，相對強度（脈沖/s）為縱坐標可做出光電子能譜圖。從而獲得試樣有關信息。X射線光電子能譜因對化學分析最有用，因此被稱為化學分析用電子能譜（Electron Spectroscopy for Chemical Analysis）。
     1，元素的定性分析。可以根據能譜圖中出現的特征譜線的位置鑒定除H、He以外的所有元素。
  2，元素的定量分析。根據能譜圖中光電子譜線強度（光電子峰的面積）反應原子的含量或相對濃度。
  3，固體表面分析。包括表面的化學組成或元素組成，原子價態，表面能態分布，測定表面電子的電子云分布和能級結構等。   4，化合物的結構。可以對內層電子結合能的化學位移精確測量，提供化學鍵和電荷分布方面的信息。
  5，分子生物學中的應用。Ex：利用XPS鑒定維生素B12中的少量的Co。