中科院上海技術物理研究所科研人員采用分子束外延技術和半導體微納加工平臺，自主完成了太赫茲量子級聯激光器的結構設計、材料生長和器件制備，成功實現太赫茲量子級聯激光器激射。這標志著我國科學家依靠自主創新在太赫茲量子級聯激光器領域進入世界前列。
太赫茲量子級聯激光器(THz-QCL)是太赫茲頻段最具競爭力的相干光源之一，在天文觀測、空間通訊和精密光譜測量等領域具有潛在的應用價值。同時，THz-QCL是電子和光子能帶工程以及分子束外延技術的完美結合，是研究電子微觀輸運、納米光子學以及太赫茲波與物質相互作用的理想載體。
中科院上海技物所研究員徐剛毅介紹，太赫茲量子級聯激光器的研制，對結構設計、材料生長和器件工藝均有很高的要求。該激光器的結構設計、材料的分子束外延，以及器件的微納加工與封裝均由上海技術物理所自主完成。
此次自主研制的太赫茲量子級聯激光器，經法國國家科學研究中心基礎電子學研究所測試，激光頻率為2.5THz，最高工作溫度為73K，輸出功率為5MW;器件性能與英國劍橋大學研制的同樣采用“束縛態至連續態躍遷”有源區設計方案的激光器水平相當。
