場發射掃描電子顯微鏡可對金屬、陶瓷、礦物、巖石、生物等樣品以及各種固體材料進行觀察和分析研究。具有超高分辨率，能做各種固態樣品表面形貌的二次電子象、反射電子象觀察及圖像處理。本文主要為大家介紹一下場發射掃描電子顯微鏡技術參數、主要用途及應用范圍。
SIGMA500場發射掃描電子顯微鏡技術參數
分辨率： 0.8nm@15kV 1.6nm@1kV
放大倍數：10-1,000,000×
加速電壓：調整范圍：0.02-30kV（無需減速模式實現）
探針電流： 4pA-20nA（40nA&100nA可選）
低真空范圍：2-133Pa（Sigma500可用）
樣品室： 358mm（φ），270.5mm（h）
樣品臺：5軸優中心全自動
X=125mm（可選130mm）
Y=125mm（可選130mm）
Z=50mm
T=-10o-90o
R=360o連續
系統控制：基于Windows7的SmartSEM操作系統，可選鼠標、鍵盤、控制面板控制
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