化學位移

化學位移：由于原子所處的化學環境不同而引起的內層電子結合能的變化，在譜圖上表現為譜峰的位移，這一現象稱為化學位移。

化學位移產生的原因：原子核對內層電子有吸引力，外層電子對內層電子有排斥（屏蔽）作用。當原子的化學環境發生改變時，會引起原子核的吸引力和外層電子的屏蔽作用的改變，從而改變內層電子的結合能，因此 XPS譜峰發生移動。

如原子的價態變正，或原子與電負性更大的其它原子相結合，外層價電子的密度將減少，屏蔽作用降低，原子核的吸引力增加，內層電子的結合能增加。

樣品中元素形成不同化合物時，其化學環境不同，導致元素內層電子的結合能不同，在譜圖上就會產生峰的位移（化學位移）和峰形的變化。這種化學位移和峰形的變化與元素的化學態有關，據此可對元素進行化學態分析。