近年來國內外對于材料表面問題的研究非常活躍。材料表面深度剖面分析方法不僅能像均質材料的分析方法那樣獲得表面元素含量的信息,而且能夠用來表征從表面到基體各元素成份的縱深分布情況。為了解當前材料表面深度剖面分析技術及發展狀況,文章從各類高能粒子入射樣品表面的分析機理入手,介紹了二次離子質譜法、俄歇電子能譜法、X射線光電子能譜法、輝光放電光譜法、激光誘導擊穿光譜法這5種可用于深度剖析的分析方法,它們通常使用高能入射粒子轟擊樣品表面,將待測樣品逐層原子化或離子化后,再通過光譜、質譜或電子檢測裝置測得元素含量的縱深分布信息。在詳細闡明了這5種深度剖析方法的分析原理、分析特點、濺射坑型及其在材料表面分析中的典型應用后,分析和探討了這幾類深度剖析方法在入射粒子、適合樣品、可測試元素、是否可定量分析、應用領域等方面的對比情況,明確了它們在深度剖面分析領域的各自優勢和不足,指出了對幾種分析技術的綜合運用,有時可改進單一方法的適用性和準確度。