納米結構單體組分分布的研究對基礎研究及應用探索具有非常重要的意義。應用高分辨場發射俄歇電子能譜和掃描電子束對在550℃和640℃生長溫度下分別沉積在硅單晶襯底上的納米鍺硅量子點結構的形貌和表面組分分布進行觀察,結果表明:表層分布元素不是純鍺、硅或均勻單一的鍺硅合金,而是不均勻分布的鍺硅混合物。納米結構內,元素呈不均勻分布,鍺元素富集在中心部位。640℃生長溫度下的相同形貌的納米點結構顯示不同的元素分布性質。組分分布的巨大差異是由不同溫度下硅向鍺中不均勻偏析所致。
