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  • 發布時間:2018-07-31 15:47 原文鏈接: 原子力顯微鏡與掃描電子顯微鏡

    原子力顯微鏡與掃描電子顯微鏡


    盡管SEM 和AFM 的橫向分辨率是相似的,但每種方法又會根據觀察者對試樣表面所要了解的信息不同而提供更完美的表征。SEM 和AFM 兩種技術最基本的區別在于處理試樣深度變化時有不同的表征。


    極其平整的表面既可能是天然形成的,如某些礦物晶體表面,也可能是經過處理的,如拋光和晶體在半導體上的取向生長以及光盤表面等。對經過王水處理去掉外層保護膜的磁光盤進行掃描。與SEM 不同,AFM 一次掃描即可完成三維測量(X、Y、Z)。由于AFM的縱向分辨率小于0.5 埃,所以它可以分辨出光盤在垂直方向不足100nm 凹坑。而對于如此平整的樣品,由于高度的變化極其微小,SEM 卻很難分辨出這些特征。


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